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Focus Latitude Enhancement Exposure
网络释义
调焦范围曝光
2 2 ) (NA k DOF 离轴照明增大焦深 8 扩大调焦范围曝光(FLEX, Focus Latitude Enhancement Exposure )，主要适用于曝光接触孔或通孔时扩展焦深， 同时也可以用于曝光硅片表面不平坦引起表面随机变化的 区域。
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