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Deep Reactive Ion Etch
查词链接：
https://www.zzcmix.top/dict/deep_reactive_ion_etch复制链接 深度反应离子蚀刻
网络释义
深度反应离子刻蚀
又例如，深度反应离子刻蚀(DRIE, Deep Reactive Ion Etch)是制作高深 宽比集成电路和 MEMS 结构的一种行之有效的加工工艺，深宽比可以很容易达 到 50:1...
深度反应离子蚀刻
...程专辑 urface Technology Systems plc，STS)近日宣布计划建设适合于300mm直径晶圆的深度反应离子蚀刻(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)系统。 三大系列全速出击，GE车载传感器产品震撼登场！
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